真空フランジ付きSC-UERF FPSCモジュール

真空空間のハイパワー冷却に

主な特長

  • -100℃以下での厳密な温度管理に適しています。物体の熱容量と温度に応じて、冷却能力と速度を微調整できます。

  • SC-UERFのフランジは、真空チャンバーに簡単に取り付けるように設計されています。真空構造の断熱効果が高く、厳密な温度制御が可能です。冷却ヘッド用の取付部品も取り付けられています。

  • ファンは、クーラーの最適な放熱のため、ケースと一体化されています。駆動基板は、ケースとは別に配置できるので、システムの熱設計が自由にできます。

製品イメージ

冷却曲線

この冷却曲線は無負荷時の代表的な特性であり、保証値ではありません。冷却性能は冷却システムの各設計に強く依存することに注意してください。弊社ホームページのユーザーズマニュアルを参照し、当社の製品がお客様の用途に適しているかご確認ください。

用途例:半導体プロセス、精密な温度制御

  • 半導体プロセス装置

    精密な温度設定と低振動の動作を可能とするFPSCは高精度でスループットの高い半導体プロセスに寄与します。

  • 精密な温度制御

    真空空間を保つことで、冷却対象の温度を精密に制御できます。

製品仕様

寸法 W H L: 180 x 170 x 435 (mm)
質量 12 kg
電源電圧 DC 48 V
最大電流 9 A
冷却能力 15 Watts at -100℃ at cooling head(周囲温度:25℃)
使用温度範囲 0℃~40℃
冷却部の設定温度d -20℃以下
騒音 55 dB(A)(安定時、距離:クーラーから水平方向に1m)
付属品 駆動基板
サンプル価格 詳しくは、弊社SC営業部までお問い合わせください。

ドキュメント

ご注文の前に製品が用途に適しているかどうかをご確認ください。

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