半導体プロセス/温度校正器

低振動で冷却速度の速いFPSCは精密な半導体プロセスや温度校正器で使用されています。

温度校正器

複数の計測度低ポイントを高速で精密に制御できるFPSCは快適で高スループットの温度校正器を実現します。

半導体プロセス装置

精密な温度設定と低振動の動作を可能とするFPSCは高精度でスループットの高い導体プロセスに寄与します。

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